1、真空:泛指低于一个大气压的气体状态 2、特点: 1、真空容器受大气压的作用,压力大小决定于容器内外的压力差; 2、真空状态下,气体稀薄,单位体积分子数少,分子之间或与其他质点(如电子、离子)以及器壁的碰撞次数少。 3、真空科学与技术的分支学科 真空技术:真空获得、测量、检漏、真空系统及元件 真空冶炼:铸造、热处理、焊接、单晶体制备 等离子体科学与技术:磁控溅射、离子镀、CVD、等离子体显示器 薄膜科学与技术:蒸发镀、离子镀、CVD、溅射镀膜 电子材料加工工艺:电子器件、半导体器件、光电材料、外延、掩膜和刻蚀 表面科学:固体表面电子结构、原子结构,隧道显微镜,表面性能测试 应用表面科学:紫外光电子能谱、x光电子能谱等表面分析仪器 纳米科学与技术:材料制备、性能测试与分析、应用 3、真空度的单位及真空区域的划分 1)真空度 是对气体稀薄程度的一种客观量度,最直接的物理量应该是每单位体积中的分子数,由于历史原因,真空度的高低通常用气体压强表示,气压低,真空度高,反之,真空度低。 2)气体压力:气体作用于单位面积器壁的压力。 3)真空度测量: 早期采用Hg柱高度测量压强,1大气压760mmHg后来发现Hg有7种同位素,密度不同,这样同一汞柱表示出来的压强不唯一。第10届国际计量大会决定改用帕来定义标准大气压,规定:1标准大气压(atm)1。013105Pa,大气压的1760称为1托(Torr),1托几乎等于1mmHg,1Torr1760Pa133。33Pa;1mbar100Pa0。75mmHg1PSI6895Pa68。95mbar51。715mmHg 4、真空区域的划分: 真空区域的划分没有统一标准,国内划分也不统一,一般分为5个区域: 粗真空76010Torr 低真空10103Torr 高真空103108Torr 超高真空1081012Torr5、真空技术的应用 广泛应用于工业生产、科学研究的各个领域。 例如:压力差制成真空吸盘、真空送料;电子管、离子加速器(碰撞少);冶金工业:真空冶炼、脱气、精炼、热处理、稀有金属、半导体材料制备;食品工业,真空保鲜、包装、冷冻干燥;活性物质防氧化(延长寿命,灯泡);表面物理学(洁净表面进行充分实验研究)